雷射精密微加工系統

LaserWriter是一種直接從電腦輔助設計到基板精密圖案製作的系統。
可以用來製作通用圖案，也可以是用來達成特定研究或生產需求的專用系統。




此系統完全是在無塵室中組裝完成的，由以下部分組成：
• 寫入單元
• 控制單元
• PhotonSteer® 軟體套件
• 環境控制單元（選購）

應用包括直接基板圖案製作以及微電子學、微光學、微波電路、太赫茲技術、微機械、微流體力學、石墨烯技術等的光罩製作。
在任何塗有抗蝕劑的基板上都可以進行圖案製作，例如半導體晶圓或晶片、玻璃、藍寶石、聚合物等。
此系統已通過CE認證。

【產品】
• 1:1縮小版的光罩
• 1:1晶圓
• 1:1晶片
• 1:1凹面/凸面/波浪面

【GaN雷射源】
• 405 nm
• 體積小、重量輕
• 高效率、壽命長
• > 100 mW 可用
• 經過充分驗證
• 直接調變
• 可直接啟動
• 無噪音

【適合族群】
• 大學層級研發
• 工業研發
• 小規模生產

【應用領域】
• 微型和光電子學（二進位）
• 微光學（多層次）
• 整合光學（二進位）
• 微機電系統（二進位、多階）
• 微流體力學（二進位）
• 混合和高密度互連（二進位）
• 微波和太赫茲技術（二進位）
• 光伏（二進位）
• 光電化學
• 奈米管和石墨烯技術
• 表面計量學與診斷

【寫入模式】
• 光束掃描
• 階段掃描
• 向量