直接驅動電動旋轉台 Direct Drive Rotation Stages
RGA Series Low-Profile High-Speed High-Repeatability Direct Drive Rotation Stages
RGA 系列薄型高速高重複性直接驅動旋轉平台
RGA 薄型高速旋轉平台非常適合需要低品質和大孔徑的工業應用,但需要快速和精確地旋轉樣品架(如晶圓卡盤)。
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RGV Series High-Speed Direct Drive Rotation Stages
RGV 系列高速精密旋轉台
RGV 可用於半導體晶片檢測、微型機器人、精密計量和運動模擬器等應用,特別適用於 MEMS、陀螺儀和加速度計測試。
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