隨著碳化矽（SiC）在電動車、電力電子與潔淨能源領域快速崛起，如何精準又高效地加工這種高硬度材料成為業界關注焦點。MKS Spectra-Physics 最新 Application Note 74 深入比較 UV 奈秒雷射 與 IR 飛秒雷射 在 SiC 蝕刻的表現，揭示最佳效率、去除率與表面品質的關鍵差異。

※不同雷射加工下的 SiC 表面品質比較

飛秒雷射（右側）展現更平滑、低熱損的加工效果

📌 文章亮點：

• UV 奈秒雷射：高性價比，適合一般加工需求。
• IR 飛秒雷射：burst 模式效率突破，達到最高 0.28 mm³/min/W，品質極佳。
• 脈衝串列 (burst) 技術：靈活調整效率與熱影響，打造最佳化加工方案。

這份研究為 半導體製造、先進封裝、電力器件加工 提供了清晰的選擇指南，幫助工程師在效率、品質與成本之間找到最佳平衡。

MKS Spectra-Physics 不同雷射效能比較

表格解讀與應用重點

• 不同雷射在「去除效率」與「最大去除速率」之間各有優勢：
• UV 奈秒雷射：具成本效益，適合一般加工需求。
• IR 飛秒雷射：特別是 burst 模式，能兼顧高效率與高品質，適合要求嚴格的精密應用。
• 整體來看，這些數據可作為工程師在 效率、品質與成本 之間做出平衡選擇的依據。

⬇️ Application Note 74 完整報告⬇️
 

在先進半導體製程持續推進至極限曝光製程與阿秒動態分析時代，EUV 技術早已成為未來製程不可逆的核心。Spectra-Physics Solstice® Ace 飛秒放大器結合高穩定性、高單脈衝能量與卓越光束品質，為高次諧波產生（HHG）系統提供了最穩定可靠的泵浦來源。

搭配精密 HHG 儀控模組，Solstice Ace 可產生 13–120 nm EUV 光源，實現高對比、高通量的極紫外波段輸出，完全針對 EUV mask 檢測、前段製程模擬、次奈米缺陷修補技術研發設計，加速您實驗室內完成從光源到製程參數驗證的完整解決方案。

⚡ Solstice® Ace™ — 精準驅動極紫外的心臟

在極紫外（EUV）與超快科學領域，穩定、強大且可持續運行的泵浦雷射，是達成卓越成果的基石。
MKS Solstice® Ace™ 以無與倫比的可靠性與性能，成為推動 XUUS™-5 高次諧波光源的完美核心。

⚡為什麼選擇 Solstice® Ace™？

🔹 極致穩定輸出：
提供 785 nm 高品質泵浦光，確保 HHG 過程重複性佳、能量一致。

🔹 超快脈衝：
輸出 < 40 fs 脈衝，完美匹配尖端應用如自旋動力學、阿秒非線性物理、trARPES 等。

🔹 靈活重複頻率：
從 1 kHz 到 10 kHz 可預選，輕鬆滿足不同實驗條件。

🔹 低泵浦能量啟動 HHG：
僅需 0.5 mJ（氬氣）或 2 mJ（氦氣）即可觸發高通量 EUV 光源。

🔹 商業化與可擴展性：
已廣泛應用於全球頂尖研究單位，與 XUUS™-5 / Arterium™ 無縫整合。

⚡重要性

沒有穩定高效的泵浦雷射，就沒有高品質的 EUV 光源。Solstice® Ace™ 不只是光源的一部分，它是整個系統的「心臟」，直接影響光通量、光譜純淨度與實驗的可重複性。

⚡方案亮點

🚀 推動 EUV 製程的研發革命，從光源開始

選擇 Solstice Ace，不只是選擇一套雷射系統，而是選擇站上次世代製程技術的起跑點。
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