RGA 系列薄型高速高重複性直接驅動旋轉平台
RGA 系列薄型高速高重複性直接驅動旋轉平台

RGA Series Low-Profile High-Speed High-Repeatability Direct Drive Rotation Stages

RGA 系列薄型高速高重複性直接驅動旋轉平台

RGA 薄型高速旋轉平台非常適合需要低品質和大孔徑的工業應用，但需要快速和精確地旋轉樣品架（如晶圓卡盤）。

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RGA 薄型高速旋轉平台非常適合需要低品質和大孔徑的工業應用，但需要快速和精確地旋轉樣品架（如晶圓卡盤）。 原廠連結
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