Displacement Measuring Interferometer
位移雷射干涉儀
IDS3010(工業用雷射位置量測干涉儀)使用Fabry-Perot干涉儀原理,內建1530nm DFB分佈回饋式雷射,訊號感測探頭具備 10MHz 頻寬及1pm (picometer) 解析度,探頭可偵測目標物移動速度最高可達 2m/s,測量精準度可達亞奈米分辨率,最多可同時進行三軸量測,其模組化及輕量化體積設計(55*52*195mm3),量測距離最長可至5公尺(5公尺以上可依照需求客製化),可根據不同量測距離及環境需求,提供多種感測探頭進行選擇:普通環境、高真空、超高真空、低溫及強輻射,能輕鬆適應各種領域應用。
在操作介面上,透過安裝專用軟體或網頁介面來操作 IDS3010,讀取即時動態量測數據並可同步進行FFT轉換,可隨使用者需求擷取特定時間內的量測數據並輸出至Excel,Matlab或Origin進行後處理分析,並可分別輸出五種不同訊號格式:HSSL、AquadB、SIN/COS、Biss-C及Linear Analog。
#干涉儀
其它說明
IDS3010應用例
► 馬達震動頻域分析
► 超精密軸承轉動誤差偵測
► 長距離與高速度位移量測
► 高輻射環境下之雷射干涉儀量測
► 奈米壓電平台定位精度品質檢測
► 齒輪箱與傳動系統之負載動態追蹤
► 工具機快速定位校正
► 半導體晶圓載台偏擺旋轉閉迴路校正控制
► 電磁線性平台精密定位閉迴路控制
► 奈米壓電移動平台閉迴路補償控制