位移雷射干涉儀

一、 壽命與維護成本

IDS3010 採用了創新概念，將發光元件（DFB 雷射） 與穩定元件（氣體室）分離，徹底解決了傳統雷射壽命短的問題。

• 10 年免維護壽命：IDS3010 提供高達 10 年 的使用壽命與低維護需求。相比之下，傳統 HeNe 雷射管每 2-3 年 就需要更換。
• 持有成本降低 2-3 倍：由於不需要頻繁更換昂貴的雷射管（更換成本約占系統價值的 20% ），IDS3010 的總持有成本（Cost of Ownership）僅為傳統系統的 1/2 到 1/3。
• 更高的機器稼動率：避免了更換 HeNe 管所需的數小時停機恢復時間，也消除了計畫外停機的風險。

圖：發光元件（DFB 雷射） 與 穩定元件（氣體室）之分離式設計

二、 精度與穩定性 (Accuracy & Stability)

在真空應用中，IDS3010 的波長準確度與頻率穩定性表現更優，具體數據對比如下：

1. 波長準確度 (Wavelength Accuracy)
   • IDS3010 ：提供 ± 50ppb (0.05 ppm) 的長期波長準確度（保證期為 3 年）。
2. 頻率穩定性 (Frequency Stability)
   • IDS3010 ：在 60 小時 內可維持 ±10 ppb 的短長期頻率穩定性。

三、 環境適應性與結構優勢 (Environmental & Design)

• 直接真空整合 (Ultimate Vacuum Accuracy) ：
    ∘ IDS3010 採用光纖傳輸與非磁性、真空相容的微型感測頭。
    ∘ 優勢：可將感測頭直接裝入真空腔室內，消除空氣折射率誤差及視窗玻璃干涉（傳統系統在有窗狀態下約有 1 ppm 的不確定性）。

• 超小型化與低漂移 ：
    ∘ IDS 感測頭直徑僅 14 mm，長度 17.4 mm。
    ∘ 熱漂移表現：IDS 的熱漂移僅為 30nm/° C，而傳統邁可森干涉儀產品由於整合了電子元件，熱漂移高達 100nm/° C。

• 多軸同步測量 ：
    ∘ 單一主機即可支援 3 軸 測量（線性 + 角度），便利性極高。

IDS3010 是專為 半導體 與 高階科研 應用設計的解決方案，特別適合需要 24/7 持續運作且對空間極度敏感的真空環境。