Integrated Vertical and Rotation Stage for Wafer Positioning

用於晶片定位的集成垂直旋轉台

產品說明

ZVR 利用其獨特的三點驅動和軸承設計，集成了 Z 和 θ 定位，可以精確地升高和旋轉晶圓卡盤。

．薄型設計，垂直精度達 10 mm，角度行程持續為 360 度
．三點式底部接口可以穩定安裝到任何 XY 平移台或其他平台
．中心孔徑大，從而簡化了真空和電纜管理
．質量輕、固有頻率高，從而可用於快速步進應用
．不鏽鋼循環滾珠軸承
．即插即用 - ESP 兼容

產品圖檔

已選擇品項

預計採購數量

預計採購時間

Integrated Vertical and Rotation Stage for Wafer Positioning

ZVR 利用其獨特的三點驅動和軸承設計，集成了 Z 和 θ 定位，可以精確地升高和旋轉晶圓卡盤。原廠連結

聯絡人

學校 / 公司

電子信箱

國家

地址

電話

傳真

行動電話

內容

驗證碼

當您提交後，即表示您同意我們的《隱私權與 Cookie 政策》。