其它說明
IDS3010應用例
► 馬達震動頻域分析
► 超精密軸承轉動誤差偵測
► 長距離與高速度位移量測
► 高輻射環境下之雷射干涉儀量測
► 奈米壓電平台定位精度品質檢測
► 齒輪箱與傳動系統之負載動態追蹤
► 工具機快速定位校正
► 半導體晶圓載台偏擺旋轉閉迴路校正控制
► 電磁線性平台精密定位閉迴路控制
IDS3010應用例
► 馬達震動頻域分析
► 超精密軸承轉動誤差偵測
► 長距離與高速度位移量測
► 高輻射環境下之雷射干涉儀量測
► 奈米壓電平台定位精度品質檢測
► 齒輪箱與傳動系統之負載動態追蹤
► 工具機快速定位校正
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► 電磁線性平台精密定位閉迴路控制