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奈米聚焦物鏡位移台是高速壓電驅動設備,可在高達250 μm 的長行程範圍內實現快速聚焦和掃描,並可與大多數顯微鏡和物鏡兼容。典型應用包括表面輪廓測量、高分辨率成像、自動聚焦、掃描干涉測量和共聚焦顯微鏡。
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