M-VP-5ZA vertical stage

M-VP-5ZA 垂直載物台

M-VP-5ZA 垂直載物台是超薄型,精密的垂直載物台,具有60 nm的最小增量運動能力,高響應性和在4.8 mm行程內的完美筆直軌跡。功能包括:創新的斜面設計;冷運轉的高扭矩直流電動機,帶有精密的預加載,長壽命的滾珠絲杠,可確保高速運動並減少建立時間;直接連接到移動導軌的高分辨率線性標尺,消除了所有傳動系統引起的運動誤差;兩對垂直安裝的雙列線性滾珠軸承滑塊產生純垂直運動。還提供了用於晶片卡盤的標準3點安裝接口。為了方便起見,可以使用平頭螺絲刀進行手動垂直調整。典型的應用包括:半導體晶圓檢查,光子學測試和包裝,微裝配,精密計量和表面檢查系統。 VP-5ZA與VP-25X線性位移台和其他Newport定位產品兼容。要將其安裝到光學平台或ILS線性平台上,請使用可選的底板VP-BP。

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M-VP-5ZA 垂直載物台
M-VP-5ZA 垂直載物台是超薄型,精密的垂直載物台,具有60 nm的最小增量運動能力,高響應性和在4.8 mm行程內的完美筆直軌跡。功能包括:創新的斜面設計;冷運轉的高扭矩直流電動機,帶有精密的預加載,長壽命的滾珠絲杠,可確保高速運動並 ...
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