M-VP-5ZA 垂直載物台

M-VP-5ZA 垂直載物台是超薄型，精密的垂直載物台，具有60 nm的最小增量運動能力，高響應性和在4.8 mm行程內的完美筆直軌跡。功能包括：創新的斜面設計；冷運轉的高扭矩直流電動機，帶有精密的預加載，長壽命的滾珠絲杠，可確保高速運動並減少建立時間；直接連接到移動導軌的高分辨率線性標尺，消除了所有傳動系統引起的運動誤差；兩對垂直安裝的雙列線性滾珠軸承滑塊產生純垂直運動。還提供了用於晶片卡盤的標準3點安裝接口。為了方便起見，可以使用平頭螺絲刀進行手動垂直調整。典型的應用包括：半導體晶圓檢查，光子學測試和包裝，微裝配，精密計量和表面檢查系統。 VP-5ZA與VP-25X線性位移台和其他Newport定位產品兼容。要將其安裝到光學平台或ILS線性平台上，請使用可選的底板VP-BP。