超高精度直接驅動垂直線性平移台
超高精度直接驅動垂直線性平移台

Ultra-high Precision Direct Drive Vertical Linear Stage

超高精度直接驅動垂直線性平移台

XMS-V系列通過在成熟的 XMS 設計中添加平衡機制來達成超精密垂直運動。 在所有垂直平台中，XMS-V 具有最好的 MIM 和雙向可重複性以及最高的速度。

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產品特色
．具有優良的精度、可重複性和 MIM 的超高性能垂直平台
．帶有平衡裝置的非接觸式直接驅動系統擁有超精密、高動態運動和可靠運轉
．超大型、無鐵芯、高效的線性馬達最大限度地減少熱量的產生
．超靜音抗蠕變交叉滾珠軸承可以在不移動軸承罩的情況下確保無波動運動
．最高速高達300mm/s
．提供兩種類型的平衡：氣動型或可自動防故障的磁性型
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超高精度直接驅動垂直線性平移台, Ultra-high Precision Direct Drive Vertical Linear Stage
Ultra-high Precision Direct Drive Vertical Linear Stage
超高精度直接驅動垂直線性平移台
XMS-V系列通過在成熟的 XMS 設計中添加平衡機制來達成超精密垂直運動。 在所有垂直平台中，XMS-V 具有最好的 MIM 和雙向可重複性以及最高的速度。 原廠連結
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