High-Precision Vertical Linear Stage

高精度垂直線性平移台

產品說明

與其他垂直平台相比，GTS-V系列平台實現了最長的行程範圍、最高的速度以及最佳的精度和可重複性。他的薄型和高精度運動能力使此平台成為半導體晶圓檢測、奈米技術、自動設備對準、計量和品質控制過程等應用的最佳選擇。

．30或70mm的精確垂直運動，在同一緊湊型設備中
．可從任何方向毫無阻礙地進入
．垂直抗蠕變交叉滾珠軸承，可實現無波紋運動和出色的軌跡精度
．來自集成線性編碼器的高靈敏度、出色的可重複性和高精度運動

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High-Precision Vertical Linear Stage

與其他垂直平台相比，GTS-V系列平台實現了最長的行程範圍、最高的速度以及最佳的精度和可重複性。他的薄型和高精度運動能力使此平台成為半導體晶圓檢測、奈米技術、自動設備對準、計量和品質控制過程等應用的最佳選擇。原廠連結

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