XM Series Ultra-Precision Linear Motor Stages

XM 超精密線性電機平移台

XM 系列超高性能線性平移台可提供持續、可靠的動力性能,運動精度可以達到 1 nm。如此強大的定位能力使其成為各種要求苛刻、突破性應用的理想選擇。

產品特色
.性能超高,最小增量運動為 1 nm
.非接觸直接驅動系統,精度超高、動態性能優異且操作可靠
.亞納米級高精度玻璃標度編碼器,重覆精度為 80 nm
.超大型無鐵心高效率線性電機可最大限度地減少發熱
.超靜音抗蠕變交叉滾珠軸承可確保無波紋運動
.可選花崗岩底座可確保超平穩安裝條件以實現優異性能

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XM 超精密線性電機平移台
XM 系列超高性能線性平移台可提供持續、可靠的動力性能,運動精度可以達到 1 nm。如此強大的定位能力使其成為各種要求苛刻、突破性應用的理想選擇。 原廠連結
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