產品特色
.性能超高,最小增量運動為 1 nm
.非接觸直接驅動系統,精度超高、動態性能優異且操作可靠
.亞納米級高精度玻璃標度編碼器,重覆精度為 80 nm
.超大型無鐵心高效率線性電機可最大限度地減少發熱
.超靜音抗蠕變交叉滾珠軸承可確保無波紋運動
.可選花崗岩底座可確保超平穩安裝條件以實現優異性能
.非接觸直接驅動系統,精度超高、動態性能優異且操作可靠
.亞納米級高精度玻璃標度編碼器,重覆精度為 80 nm
.超大型無鐵心高效率線性電機可最大限度地減少發熱
.超靜音抗蠕變交叉滾珠軸承可確保無波紋運動
.可選花崗岩底座可確保超平穩安裝條件以實現優異性能