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MLT 系列緊湊、薄型、高精度線性平台將 XM 系列和緊湊型 VP 線性平台系列的超精密性能融為一體。這些平台展示了 MKS 在適用於各種工業應用的精密平台設計方面的最新創新和專業知識,同時保持了與 MKS 運動控制器一起使用時運動產品所期望的短設置。 MLT 平台非常適用於半導體、工業或研究市場中的典型掃描或點對點應用,用於計量、傳感器測試和校準、對準和取放組裝。
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