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ILS 系列快速、亞微米分辨率線性平台由輕巧、堅固的鋁製機身和可防止熱彎曲效應的可靠組件構成。它們提供 50-250 mm的行程,且能夠在輕工業應用中擁有高負載循環。這些直流馬達平台適用於需要更快速度和更高重複性的應用。對於更嚴格的精確定位要求,集成線性尺度可提供非常精細的分辨率和重複性。
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