Vacuum Compatible Piezo Stack Linear Translation Stages

真空兼容壓電疊堆線性位移平台

產品說明

壓電堆疊線性平台在一個緊湊的封裝中提供一個、兩個或三個軸的長行程和亞納米分辨率的運動。它們具有快速響應和快速穩定性能，使其可用於動態真空過程，例如高頻誤差補償、跟蹤、快速步進或連續掃描。

．亞納米壓電定位分辨率
．10-6 Torr 真空兼容性
．X、XY 或 XYZ 平台，行程高達 400 µm
．適用於高動態應用的高諧振頻率
．用於閉環操作的可選集成應變計

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Vacuum Compatible Piezo Stack Linear Translation Stages

壓電堆疊線性平台在一個緊湊的封裝中提供一個、兩個或三個軸的長行程和亞納米分辨率的運動。它們具有快速響應和快速穩定性能，使其可用於動態真空過程，例如高頻誤差補償、跟蹤、快速步進或連續掃描。原廠連結

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