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用於晶片定位的集成垂直旋轉台, Integrated Vertical and Rotation Stage for Wafer Positioning

提供用於晶片定位的集成垂直旋轉台的詳細產品服務資訊，包括型號、名稱、敘述和規格。我們秉持著精益求精及高品質保證，提供一系列實用且價格合理的用於晶片定位的集成垂直旋轉台產品，並以多年的豐富經驗及技術獲得國內外客戶讚許及肯定，若您有任何採購需求，歡迎與我們聯絡。

ZVR 利用其獨特的三點驅動和軸承設計，集成了 Z 和 θ 定位，可以精確地升高和旋轉晶圓卡盤。

產品特色 :

．薄型設計，垂直精度達 10 mm，角度行程持續為 360 度
．三點式底部接口可以穩定安裝到任何 XY 平移台或其他平台
．中心孔徑大，從而簡化了真空和電纜管理
．質量輕、固有頻率高，從而可用於快速步進應用
．不鏽鋼循環滾珠軸承
．即插即用 - ESP 兼容

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