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用於晶圓定位的集成垂直和旋轉步進電機平台, Integrated Vertical and Rotation Stepper Motor Stage for Wafer Positioning
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Integrated Vertical and Rotation Stepper Motor Stage for Wafer Positioning
用於晶圓定位的集成垂直和旋轉步進電機平台
ZVR 載物台集成了 10 mm 垂直（Z 軸）和 360° 連續旋轉（ϴ 軸）定位以及獨特的三點驅動和軸承設計。它主要設計用於精確提升和旋轉 200 和/或 300 毫米晶圓卡盤以及其他需要調整以對齊物體方向或聚焦的樣品或物體。此平台使用的步進電機是直流伺服系統的低成本替代方案，適用於要求較低的應用。 運行開環，脈衝計數是一個很好的位置指示器。
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