attocube真空奈米壓電平台-阜拓科技

用於大氣和真空條件的壓電奈米驅動器
 
attocube 的奈米壓電平台均包含壓電電機，以實現奈米級精度的運動，並且可根據客戶的應用提供各種不同的主體材料、尺寸和選項。
 
對於我們基於軸承的 EC* 系列定位器，重量輕且強度高的鋁材用於大氣應用，而不銹鋼外殼可與高達 UHV 的真空條件相容。AN* 系列適用於特殊要求，例如有限空間或非磁性要求，因此由鈦或鈹銅製成。
attocube 的奈米壓電平台具備以下優勢：

• 高負載能力

憑藉獨特的壓電驅動技術、堅固的機械設計以及交叉滾子軸承的應用，attocube 的常壓與真空奈米定位平台能夠在奈米級精度下承載並移動數公斤等級的負載。

• 真空相容性

這些定位平台專為室溫下運作而設計，適用於從超高真空（UHV）到常壓的廣泛壓力條件。所有平台皆提供陽極氧化鋁或不鏽鋼材質選擇，滿足光學應用與 UHV 應用的不同需求。

• 閉迴路控制

搭配三軸控制器 AMC100，常壓與真空定位器可實現1 奈米（或 1 微角）解析度的閉迴路定位控制，並支援最快 4.5 mm/s（或 10°/s）的移動速度。其位置重現精度可達 50 nm（或 50 微角），展現出卓越的性能規格。

• 材料與壽命

在常壓與真空定位器的設計中，特別著重於壽命耐久性與成本效益。室溫下優化的驅動機構，加上鋁或不鏽鋼作為主要結構材質，不僅有效降低成本，同時提供高達 50 萬次驅動壽命的長效表現。

選擇步驟流程如下：

Step 1：常溫 & 真空環境



Step 2：平台運動方式




Step 3：定位控制方式