混合式氣浮多軸系統 Hybrid Air Bearing Multi-Axis Systems
High Dynamic, Hybrid Air Bearing XY Stage with Soft Isolation System
高動態混合式氣浮XY平台，含柔性隔振系統
HybrYX 單平面混合式 XY 平台是我們氣浮產品系列的最新成員，既具備單平面氣浮平台的優勢，又能顯著降低成本。搭載柔性隔振系統的 HybrYX-HD 不僅適用於半導體晶圓處理設 ...