位移雷射干涉儀

IDS3010（工業用雷射位置量測干涉儀）使用Fabry-Perot干涉儀原理，內建1530nm DFB分佈回饋式雷射，訊號感測探頭具備 10MHz 頻寬及1pm (picometer) 解析度，探頭可偵測目標物移動速度最高可達 2m/s，測量精準度可達亞奈米分辨率，最多可同時進行三軸量測，其模組化及輕量化體積設計（55*52*195mm3），量測距離最長可至5公尺（5公尺以上可依照需求客製化），可根據不同量測距離及環境需求，提供多種感測探頭進行選擇：普通環境、高真空、超高真空、低溫及強輻射，能輕鬆適應各種領域應用。
 
在操作介面上，透過安裝專用軟體或網頁介面來操作 IDS3010，讀取即時動態量測數據並可同步進行FFT轉換，可隨使用者需求擷取特定時間內的量測數據並輸出至Excel，Matlab或Origin進行後處理分析，並可分別輸出五種不同訊號格式：HSSL、AquadB、SIN/COS、Biss-C及Linear Analog。

提供與工具機或移動平台的控制器進行訊號回授 ( 回饋 )，即時補償、補正的閉迴路功能。

#干涉儀
🔧 應用：回授、補償、回饋、反饋、量測