MKS 很榮幸地與大家分享，搭載 DynaQuiet™ 柔性隔振系統的 Newport™ HybrYX®-HD 已獲評選為光學與光子學領域中最具創新性的解決方案之一。
這項技術創新結合了「雙伺服迴路」與「導引式被動隔振」技術，讓設備在維持極低震動輸出的同時，仍能實現精確的高動態運動軌跡。

HybrYX-HD® 專為半導體晶圓處理及大尺寸基板檢測量身打造，與全新推出的 DynaQuiet™ 柔性隔振技術結合，具備以下優勢：

• 專利申請中的柔性隔振系統：可實現極低的震動輸出
• 優異的掃描性能：具備超低速度漣波與極小的動態追隨誤差
• 高動態性能表現：在負載高達 30kg 的情況下，仍能達到 2 m/sec 的速度與 5 g 的加速度
• 卓越的性價比優勢
• 靈活的單平面 XY 設計：並支援行程擴充

這項技術突破再次定義了精密運動控制的新標竿，為嚴苛的工業應用場景帶來頂尖的性能與可靠性。

※應用場景

• 半導體晶圓處理 (Semiconductor wafer processing)
• 大尺寸基板檢測 (Large substrate inspection)

※ 產品關鍵規格表

⬇️ 高動態混合式氣浮XY平台，含柔性隔振系統⬇️
 

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