🔍 奈米級位移控制應用再突破 — IDS3010 雷射干涉儀登上《科儀新知》期刊！
2025/04/15
我們的應用案例〈利用 Fabry-Pérot 雷射干涉儀實現線型馬達移動平台裝置之位移即時訊號補償回授控制〉獲刊於最新一期《科儀新知》，深入探討如何運用德國 attocube IDS3010 雷射干涉儀，實現亞奈米級高精度定位控制，滿足半導體製程對大範圍與高動態位移量測的嚴苛需求。
👉 期刊哪裡看：《科儀新知》第242期
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歡迎參考我們製作的專題影片，從實際安裝設定步驟出發，介紹 IDS3010 如何突破傳統干涉儀對位複雜的限制，靈活對應各種機台應用需求。影片也說明其支援多種即時輸出格式與開發介面，協助您輕鬆整合高精度量測功能。
IDS3010 提供五種即時訊號輸出格式，並具備高達 25 MHz 的資料傳輸能力，是整合高性能運動控制系統的理想選擇。
本篇實驗案例也驗證，導入 IDS3010 可顯著提升平台的重複定位精度與穩定性，對於半導體製程中的精密控制具有實質助益。
📌 若您對高精度運動平台、半導體製程或雷射干涉量測應用有興趣，千萬別錯過這一期的精彩內容！
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