【Spectra-Physics】📑Application Note 72：
Copper Micromachining Enhanced by Programable UV Nanosecond Pulses
透過可程式化紫外線奈秒脈衝提升銅金屬微加工

隨著醫療設備、先進微電子產品等各行各業對更小、更高精度產品的需求不斷增加，雷射已成為不可或缺的製造工具。雖然超短脈衝 (USP) 雷射以其精度著稱，但在成本和產量方面存在一定的限制。
相比之下，奈秒 (ns) 脈衝雷射提供更高的去除速率、更低的成本和更好的可靠性。
 
Talon Ace UV100雷射：

由 MKS 的 Spectra-Physics 開發，這種 ns 脈衝雷射提供 100 W 的紫外線功率，用於高通量和高速精密微加工。
具有 TimeShift™ 可程式化脈衝功能，允許 2 到 50 ns 的脈衝寬度和定制輸出，如脈衝成形和脈衝串。

圖 1：去除效率數據顯示脈衝寬度的重要性，以及在銅加工中使用脈衝串的優勢。 

實驗結果顯示：

• 在銅板上測試了 Talon Ace 的微加工能力，並比較了單脈衝和串脈衝輸出。
• 結果顯示，較短的脈衝寬度 (2 ns) 提供了更好的去除控制和減少的熱負荷。
• 串模式 (5×2 ns次脈衝) 相比於單脈衝和傳統的 Q-switch 雷射，提供了更高的去除效率。
• 質量分析顯示，單個 2 ns 脈衝的熱影響較小，而串輸出導致更均勻的表面和減少的邊緣毛刺。

圖2: 光學表面輪廓分析顯示，當脈衝寬度從 20 ns 降至 2 ns 時，邊緣毛刺逐漸減少，而 5×2 ns 串脈衝輸出則進一步降低毛刺量。

圖3. 在相同或更低的平均功率下，相較於單一 10 ns 或 2 ns 脈衝，10×2 ns 串脈衝模式在軟性 PCB 表層銅盲孔加工中展現更優異的效果。


應用：

• 在工業應用中顯示出優勢，如 銅/聚酰亞胺/銅材料堆疊 中的盲孔鑽孔。
• 與單個脈衝相比，串模式在質量和通量方面取得了更優異的結果。

⬇️ 下載 Application Note 72 檔案 ⬇️
Spectra Physics App Note 72


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