Litron Laser:薄膜製造的高效率解決方案

2025/01/08

Litron-PLD
Litron-PLD

 

Litron Laser:薄膜製造的高效率解決方案

脈衝雷射沉積技術(PLD)是一種高效率的薄膜沉積方法,Litron 的 Nd:YAG 固態雷射在此領域展現卓越性能,適用於矽晶圓等基材的薄膜或多層膜沉積。


📌 Litron Nd:YAG 固態雷射的核心優勢

📍 高能量源密度
Nd:YAG 雷射提供較小且集中的圓形光束,即使在較低能量下也能達到理想的光束密度。

📍 靈活波長選擇
可在 266nm、355nm、532nm、213nm 及 1064nm 之間靈活切換,適應不同材料需求。

📍 穩定望遠型諧振腔 雙介質增益棒雙折射補償設計
Litron 的系統採用雙介質增益棒雙折射補償設計,結合穩定望遠型諧振腔技術,為您的薄膜製造提供更優異的精確控制與可靠性。

📍 低維護成本
Nd:YAG雷射僅需每年更換低成本的閃光燈與水過濾器,無需像準分子雷射那樣頻繁更換氣體混和物。

深入了解脈衝雷射沉積技術(PLD

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