Litron Laser：薄膜製造的高效率解決方案
2025/01/08
Litron Laser：薄膜製造的高效率解決方案
脈衝雷射沉積技術（PLD）是一種高效率的薄膜沉積方法，Litron 的 Nd:YAG 固態雷射在此領域展現卓越性能，適用於矽晶圓等基材的薄膜或多層膜沉積。
📌 Litron Nd:YAG 固態雷射的核心優勢：
📍 高能量源密度：
Nd:YAG 雷射提供較小且集中的圓形光束，即使在較低能量下也能達到理想的光束密度。
📍 靈活波長選擇：
可在 266nm、355nm、532nm、213nm 及 1064nm 之間靈活切換，適應不同材料需求。
📍 穩定望遠型諧振腔 與 雙介質增益棒雙折射補償設計：
Litron 的系統採用雙介質增益棒雙折射補償設計，結合穩定望遠型諧振腔技術，為您的薄膜製造提供更優異的精確控制與可靠性。
Nd:YAG雷射僅需每年更換低成本的閃光燈與水過濾器，無需像準分子雷射那樣頻繁更換氣體混和物。
深入了解脈衝雷射沉積技術（PLD）
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