使用高功率紫外皮秒雷射在碳化矽(SiC)材料上進行切割的優勢: ( SP App Note 71)

2024/11/6

SP App Note 71
• SiC材料的挑戰:
SiC是非常堅硬的材料,傳統的機械切割方法不適用於SiC,會產生碎片並迅速磨損昂貴的鑽石刀。

• 雷射切割的優勢:
非接觸式雷射切割可以明顯減少或消除邊緣崩裂,並且對材料的機械性質影響較小。

• 實驗結果:
使用Spectra Physics IceFyre UV50雷射進行的實驗證明,增加脈衝數量可以顯著提高切割質量和速度。

• 技術特點:
IceFyre UV50雷射具有可編程pulse burst功能(TimeShift™),能夠在高掃描速度下實現高質量加工。



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2024 Spectra Physics App Note 71

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