使用高功率紫外皮秒雷射在碳化矽（SiC）材料上進行切割的優勢： ( SP App Note 71)
2024/11/06
• SiC材料的挑戰：
SiC是非常堅硬的材料，傳統的機械切割方法不適用於SiC，會產生碎片並迅速磨損昂貴的鑽石刀。
• 雷射切割的優勢：
非接觸式雷射切割可以明顯減少或消除邊緣崩裂，並且對材料的機械性質影響較小。
• 實驗結果：
使用Spectra Physics IceFyre UV50雷射進行的實驗證明，增加脈衝數量可以顯著提高切割質量和速度。
• 技術特點：
IceFyre UV50雷射具有可編程pulse burst功能（TimeShift™），能夠在高掃描速度下實現高質量加工。
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2024 Spectra Physics App Note 71
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