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Newport｜高動態混合式氣浮XY平台｜ 含柔性隔振系統 ｜ 阜拓科技
阜拓科技股份有限公司專注於專業混合式氣浮多軸系統 Hybrid Air Bearing Multi-Axis Systems領域，我們以多年累積的核心技術及經驗，配合顧客的各種需求，提供高品質的混合式氣浮多軸系統 Hybrid Air Bearing Multi-Axis Systems產品服務。我們提供運動控制 Motion Control詳細產品服務資訊，歡迎您利用表單方式與我們聯繫，我們將竭誠為您服務。
High Dynamic, Hybrid Air Bearing XY Stage with Soft Isolation System
高動態混合式氣浮XY平台，含柔性隔振系統
HybrYX 單平面混合式 XY 平台是我們氣浮產品系列的最新成員，既具備單平面氣浮平台的優勢，又能顯著降低成本。搭載柔性隔振系統的 HybrYX-HD 不僅適用於半導體晶圓處理設備，也是大尺寸基板檢測與加工工具的理想選擇。柔性隔振系統可確保平台在高速、高加速 (高動態) 運行時，既不影響關鍵點位的穩定性，也不會向地面傳導振動。
柔性隔振系統：主動運動補償與振動隔離
這項專利柔性隔振系統專為光學微影、晶圓檢測等應用設計，能滿足關鍵點位之間快速移動的需求，在縮短穩定時間的同時，減少傳遞至廠房地面的震動。
該系統包含四組柔性隔振模組，分別安裝於花崗岩底座的四個角落。透過彈性體支座，將花崗岩與機架隔開，使花崗岩可隨平台加速產生相應位移。
其中一組柔性隔振模組在 X 軸與 Y 軸均配備「絕對值編碼器」，用於測量花崗石與機架之間的相對位移。平台本身在Y軸設有一組編碼器，在X 軸則在龍門結構兩端各設一組編碼器。透過位置控制環，平台能夠主動補償花崗岩的位移，確保「關鍵點位」始終保持穩定位置。柔性隔振系統大幅降低了平台加速過程中向廠房地面傳導的振動 (VC-C)，使平台在實現高加速與高產能的同時，不會對下層地面造成振動干擾。
歡迎您透過與我連絡將混合式氣浮多軸系統 Hybrid Air Bearing Multi-Axis Systems的洽詢需求傳送給我們，我們會儘快與您聯繫。
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