直接驅動線性電機位移台 Direct Drive Linear Motor Stages

MLT 系列緊湊、薄型、高精度線性平台將 XM 系列和緊湊型 VP 線性平台系列的超精密性能融為一體。這些平台展示了 MKS 在適用於各種工業應用的精密平台設計方面的最新創新和專業知識，同時保持了與 MKS 運動控制器一起使用時運動產品所期望的短設置。 MLT 平台非常適用於半導體、工業或研究市場中的典型掃描或點對點應用，用於計量、傳感器測試和校準、對準和取放組裝。

XM 系列超高性能線性平移台可提供持續、可靠的動力性能，運動精度可以達到 1 nm。如此強大的定位能力使其成為各種要求苛刻、突破性應用的理想選擇。

與 ILS 系列類似，ILS-LM 的亮點也包括堅硬的鋁製主體、優異的精度和高占空比能力，以及線性電機的其他特性，如更快的運動和更高的速度穩定性。

IMS-LM 線性電機平移台具有最長的行程長度和線性電機，在提升速度和平順性的同時，保留了堅硬的鋁製機身和堅固耐用的組件，可在高占空比應用中實現亞微米分辨率。

該款長行程 IDL 工業級線性平移台擁有所有線性電機平移台當中最高的載重能力和速度，並有多種尺寸和行程可供選擇，因此非常適合苛刻的生產環境。該產品也以其出色的精度和更高的俯仰與偏轉規格而聞名。

ONE-XY 在薄型設計中獨特地集成了 X 軸和 Y 軸，具有出色的定位精度、平坦度、平直度、剛度、MIM 和可重覆性。

DL 系列是一款經濟實惠的線性電機驅動平台，專為延遲線而設計。這些平台針對需要可重複和精確延遲的超快光譜應用進行了優化，例如泵浦探針、干涉測量和 2DIR。DL 系列位移台的行程為 125、225 和 325 毫米，幾乎涵蓋了從飛秒到奈秒的所有可能延遲。集成的運動控制器和圖形用戶界面 (GUI) 使設置和操作變得簡單。