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線型移動平台 Linear Positioner
Max Load 1kg , Travel range 20mm
ECSx3030 線性軸承奈米壓電移動平台
ECSx3030 是 attocube 工業系列奈米壓電移動平台中，體積最輕巧的型號。它能在 20 mm 的行程範圍內，透過交叉滾柱導軌（ crossed roller bearings ）來提供 1 nm 高解析度的定位表現， 最大載重限制 1 kg 。
此型號平台可分別適用於一般常溫環境 ”RT” ，一般真空環境 ”HV” ，超真空環境 ”UHV” ，並且可以選擇是否搭配內建整合式光學尺。
若需進行 XYZ 三軸架設，可將兩組 ECSx3030 進行疊放，並透過 L 型支架連接第三組平台。
ECS 垂直負載平衡補償升級套件
- 為了承載超過 ECSz3030 標配能力的重物，attocube 提供了 ECS Lift 垂直負載平衡補償升級套件，透過強力彈簧來補償重力方向的負載重量。
- 針對 ECSx3030 系列配備了不同規格的彈簧組。
- 負載補償的效果不受真空條件影響。
- 詳細規格內容 : ECSx3030 Lift
型號選擇一覽表
- RT 常溫常壓系列（鋁合金結構）
- ECSx3030 / Al / RT：常溫標準型。
- ECSx3030 / Al / NUM / RT：內建光學尺。
- HV 真空系列（ 10⁻⁸ mbar / 不鏽鋼結構）
- ECSx3030 / StSt / HV：真空標準型。
- ECSx3030 / StSt / NUM / HV：真空 + 內建光學尺。
- ECSx3030 / StSt / NUM+ / HV：真空 + 低發熱內建光學尺。
- UHV 超高真空系列（ 5x10⁻¹¹ mbar / 最高可於 150°C 環境溫度）
- ECSx3030 / StSt / UHV：極真空標準型。
- ECSx3030 / StSt / NUM / UHV：極真空 +內建光學尺。
- ECSx3030 / StSt / NUM+ / UHV：極真空 + 低發熱內建光學尺。
ECS 系列壓電平台工作原理
STEP 1：靜止狀態
- 平台緊密夾持於導桿上。
- 導桿與壓電元件相連。
- 未施加電壓 → 平台處於靜止狀態。
STEP 2：靜摩擦階段，對壓電元件施加鋸齒波電壓 ( Sawtooth Voltage )
- 當電壓處於慢速上升緣（ Slow Flank ）時，平台受摩擦力作用「 黏附 」在導桿上，並隨之移動一段距離 Δx 。
- 該位移距離 Δx 最小可達 50 nm。
STEP 3：電壓快速下降
- 當電壓處於快速下降緣（ Steep Flank ）時，導桿會產生極快的加速度。
- 平台因慣性克服摩擦力並與驅動元件（ 導桿 ）產生相對滑動（ 脫離同步移動 ）。
- 單步位移程序完成。
Max Load 2kg , Travel range 30mm
ECSx3050 線性軸承奈米壓電移動平台
ECSx3050 ， 外觀尺寸：30 mm x 50 mm ; 9.5 mm。
結合了 30 mm 的行程與 1 nm 的極高解析度，採用交叉滾柱導軌（Crossed Roller Bearings）設計，在確保高精度的同時，最大載重可達 2 kg。
此型號平台可分別適用於一般常溫環境 ”RT”，一般真空環境 10⁻⁸mbar ”HV”，超真空環境 5x10⁻¹¹mbar ”UHV”，並且可以根據應用需求，在型號中加入以下功能：
- HL ( High Load ) : 高動態軸向出力。專為將平台透過轉接做為 Z 軸方向上下載重移動需要更高推力、提升力或對抗慣性的高負載應用設計。
- NUM ( Optoelectronic Encoder ) : 內建整合式光學尺。提供閉迴路控制（ Closed-loop ），實現精準的定位回饋。
- NUM+ ( Low Heat Encoder ) : 真空優化型光學尺。針對真空環境設計，極低發熱量，能有效減少熱漂移，維持實驗熱穩定性。
若需進行 XYZ 三軸架設，可將兩組 ECSx3050 進行疊放，並透過 L 型支架連接第三組平台。
型號選擇一覽表
- RT 常溫常壓系列（鋁合金結構）
- ECSx3050 / Al / RT：常溫標準型。
- ECSx3050 / Al / HL / RT：具備高動態軸向出力。
- ECSx3050 / Al / NUM / RT：內建光學尺。
- ECSx3050 / Al / HL / NUM / RT：具備高動態軸向出力 + 內建光學尺。
- HV 真空系列（ 10⁻⁸mbar / 不鏽鋼結構）
- ECSx3050 / StSt / HV：真空標準型。
- ECSx3050 / StSt / NUM / HV：真空 + 內建光學尺。
- ECSx3050 / StSt / HL / NUM / HV：真空 + 高動態軸向出力 +內建光學尺。
- ECSx3050 / StSt / NUM+ / HV：真空 + 低發熱內建光學尺。
- ECSx3050 / StSt / HL / NUM+ / HV：真空 + 具備高動態軸向出力 + 低發熱內建光學尺。
- UHV 超高真空系列（ 5x10⁻¹¹mbar / 最高可於 150°C 環境溫度）
- ECSx3050 / StSt / UHV：極真空標準型。
- ECSx3050 / StSt / NUM / UHV：極真空 + 內建光學尺。
- ECSx3050 / StSt / HL / NUM / UHV：極真空 + 具備高動態軸向出力 + 內建光學尺。
- ECSx3050 / StSt / NUM+ / UHV：極真空 + 低發熱內建光學尺。
- ECSx3050 / StSt / HL / NUM+ / UHV：極真空 + 具備高動態軸向出力 + 低發熱內建光學尺。
ECS 系列壓電平台工作原理
STEP 1：靜止狀態
- 平台緊密夾持於導桿上。
- 導桿與壓電元件相連。
- 未施加電壓 → 平台處於靜止狀態。
STEP 2：靜摩擦階段，對壓電元件施加鋸齒波電壓 (Sawtooth Voltage)
- 當電壓處於慢速上升緣（Slow Flank）時，平台受摩擦力作用「黏附」在導桿上，並隨之移動一段距離 Δx。
- 該位移距離 Δx 最小可達 50 nm。
STEP 3：電壓快速下降
- 當電壓處於快速下降緣（Steep Flank）時，導桿會產生極快的加速度。
- 平台因慣性克服摩擦力並與驅動元件（導桿）產生相對滑動（脫離同步移動）。
- 單步位移程序完成。
Max Load 2kg , Travel range 50mm
ECSx3080 線性軸承奈米壓電移動平台
ECSx3080 ， 外觀尺寸：30 mm x 80 mm ; 9.5 mm。
結合了 50 mm 的長行程與 1 nm 的極高解析度，採用交叉滾柱導軌（Crossed Roller Bearings）設計，在確保高精度的同時，最大載重可達 2 kg。
此型號平台可分別適用於一般常溫環境 ”RT”，一般真空環境 10⁻⁸ mbar ”HV”，超真空環境 5x10⁻¹¹mbar ”UHV”，並且可以根據應用需求，在型號中加入以下功能：
- HL ( High Load ) : 高動態軸向出力。專為將平台透過轉接做為Z軸方向上下載重移動需要更高推力、提升力或對抗慣性的高負載應用設計。
- NUM ( Optoelectronic Encoder ) : 內建整合式光學尺。提供閉迴路控制（ Closed-loop ），實現精準的定位回饋。
- NUM+ ( Low Heat Encoder ) : 真空優化型光學尺。針對真空環境設計，極低發熱量，能有效減少熱漂移，維持實驗熱穩定性。
若需進行 XYZ 三軸架設，可進行疊放，並透過 L 型支架連接第三組平台。
型號選擇一覽表
- RT 常溫常壓系列（鋁合金結構）
- ECSx3080 / Al / RT：常溫標準型。
- ECSx3080 / Al / HL / RT：具備高動態軸向出力。
- ECSx3080 / Al / NUM / RT：內建光學尺。
- ECSx3080 / Al / HL / NUM / RT：具備高動態軸向出力 + 內建光學尺。
- HV 真空系列（ 10⁻⁸mbar / 不鏽鋼結構）
- ECSx3080 / StSt / HV：真空標準型。
- ECSx3080 / StSt / NUM / HV：真空 + 內建光學尺。
- ECSx3080 / StSt / NUM+ / HV：真空 + 低發熱內建光學尺。
- UHV 超高真空系列（ 5x10⁻¹¹mbar / 最高可於 150°C 環境溫度）
- ECSx3080 / StSt / UHV：極真空標準型。
- ECSx3080 / StSt / NUM / UHV：極真空 +內建光學尺。
- ECSx3080 / StSt / NUM+ / UHV：極真空 + 低發熱內建光學尺。
ECS 系列壓電平台工作原理
STEP 1：靜止狀態
- 平台緊密夾持於導桿上。
- 導桿與壓電元件相連。
- 未施加電壓 → 平台處於靜止狀態。
STEP 2：靜摩擦階段，對壓電元件施加鋸齒波電壓 ( Sawtooth Voltage )
- 當電壓處於慢速上升緣（ Slow Flank ）時，平台受摩擦力作用「 黏附 」在導桿上，並隨之移動一段距離 Δx 。
- 該位移距離 Δx 最小可達 50 nm。
STEP 3：電壓快速下降
- 當電壓處於快速下降緣（ Steep Flank ）時，導桿會產生極快的加速度。
- 平台因慣性克服摩擦力並與驅動元件（ 導桿 ）產生相對滑動（ 脫離同步移動 ）。
- 單步位移程序完成。
Max Load 2kg , Travel range 30mm
ECSx5050 線性軸承奈米壓電移動平台
ECSx5050 ， 外觀尺寸：50 mm x 50 mm ; 9.5 mm。
結合了 30 mm 的行程與 1 nm 的極高解析度，採用交叉滾柱導軌（Crossed Roller Bearings）設計，在確保高精度的同時，最大載重可達 2 kg。
此型號平台可分別適用於一般常溫環境 ”RT”，一般真空環境 10⁻⁸mbar ”HV”，超真空環境 5x10⁻¹¹mbar ”UHV”，並且可以根據應用需求，在型號中加入以下功能：
- HL ( High Load ) : 高動態軸向出力。專為將平台透過轉接做為 Z 軸方向上下載重移動需要更高推力、提升力或對抗慣性的高負載應用設計。
- NUM ( Optoelectronic Encoder ) : 內建整合式光學尺。提供閉迴路控制（Closed-loop），實現精準的定位回饋。
- NUM+ ( Low Heat Encoder ) : 真空優化型光學尺。針對真空環境設計，極低發熱量，能有效減少熱漂移，維持實驗熱穩定性。
若需進行 XYZ 三軸架設，可將兩組 ECSx5050 進行疊放，並透過 L 型支架連接第三組平台。
ECS 垂直負載平衡補償升級套件
- 為了承載超過 ECSz5050 標配能力的重物，attocube 提供了 ECS Lift 垂直負載平衡補償升級套件，透過強力彈簧來補償重力方向的負載重量。
- 針對 ECSx5050 系列配備了不同規格的彈簧組。
- 負載補償的效果不受真空條件影響。
- 詳細規格內容: ECSx5050 Lift
型號選擇一覽表
- RT 常溫常壓系列（鋁合金結構）
- ECSx5050 / Al / RT：常溫標準型。
- ECSx5050 / Al / HL / RT：具備高動態軸向出力。
- ECSx5050 / Al / NUM / RT：內建光學尺。
- ECSx5050 / Al / HL / NUM / RT ：具備高動態軸向出力 + 內建光學尺。
- HV 真空系列（ 10⁻⁸mbar / 不鏽鋼結構）
- ECSx5050 / StSt / NUM / HV：真空 + 內建光學尺。
- ECSx5050 / StSt / HL / NUM / HV：真空 + 高動態軸向出力 +內建光學尺。
- ECSx5050 / StSt / NUM+ / HV：真空 + 低發熱內建光學尺。
- ECSx5050 / StSt / HL / NUM+ / HV：真空 + 具備高動態軸向出力 + 低發熱內建光學尺。
- UHV 超高真空系列（ 5x10⁻¹¹mbar / 最高可於 150°C 環境溫度）
- ECSx5050 / StSt / NUM / UHV：極真空 +內建光學尺。
- ECSx5050 / StSt / HL / NUM / UHV：極真空 +具備高動態軸向出力 +內建光學尺。
- ECSx5050 / StSt / NUM+ / UHV：極真空 + 低發熱內建光學尺。
- ECSx5050 / StSt / HL / NUM+ / UHV：極真空 +具備高動態軸向出力 + 低發熱內建光學尺。
ECS 系列壓電平台工作原理
STEP 1：靜止狀態
- 平台緊密夾持於導桿上。
- 導桿與壓電元件相連。
- 未施加電壓 → 平台處於靜止狀態。
STEP 2：靜摩擦階段，對壓電元件施加鋸齒波電壓 ( Sawtooth Voltage )
- 當電壓處於慢速上升緣（ Slow Flank ）時，平台受摩擦力作用「 黏附 」在導桿上，並隨之移動一段距離 Δx 。
- 該位移距離 Δx 最小可達 50 nm。
STEP 3：電壓快速下降
- 當電壓處於快速下降緣（ Steep Flank ）時，導桿會產生極快的加速度。
- 平台因慣性克服摩擦力並與驅動元件（ 導桿 ）產生相對滑動（ 脫離同步移動 ）。
- 單步位移程序完成。
Max Load 2kg , Travel range 25x25mm
ECSxy5050 單體式線型 XY 奈米壓電移動平台
- ECSxy5050，外觀尺寸： 50 mm x 50 mm ; 16.4 mm。
- ECSxy5050 是一款專為水平平面運動設計的高性能壓電移動平台。
- 平面運動 25 X 25 mm 的行程與 1 nm 的極高解析度，其採用單體式軸承結構 ( Monolithic bearing based )，內建精密的交叉滾子軸承 ( Crossed Roller Bearings )，確保在運動過程中具備極高的幾何精度與負載穩定性。
- 採用高強度鋁合金機身，在保持結構剛性的同時大幅減輕重量，極易整合至各類現有的實驗設備中。
- 此型號平台適用於一般常溫環境 ”RT” 。
- NUM ( Optoelectronic Encoder ) : 內建整合式光學尺。提供閉迴路控制（ Closed-loop ），實現精準的定位回饋。
型號選擇一覽表
RT 常溫常壓系列（鋁合金結構）
- ECSxy5050 / Al / RT：常溫標準型。
- ECSxy5050 / Al / NUM / RT：內建光學尺。
ECS 系列壓電平台工作原理
STEP 1：靜止狀態
- 平台緊密夾持於導桿上。
- 導桿與壓電元件相連。
- 未施加電壓 → 平台處於靜止狀態。
STEP 2：靜摩擦階段，對壓電元件施加鋸齒波電壓 ( Sawtooth Voltage )
- 當電壓處於慢速上升緣（ Slow Flank ）時，平台受摩擦力作用「 黏附 」在導桿上，並隨之移動一段距離 Δx 。
- 該位移距離 Δx 最小可達 50 nm。
STEP 3：電壓快速下降
- 當電壓處於快速下降緣（ Steep Flank ）時，導桿會產生極快的加速度。
- 平台因慣性克服摩擦力並與驅動元件（ 導桿 ）產生相對滑動（ 脫離同步移動 ）。
- 單步位移程序完成。
Max Load 0.4kg , Travel range 5mm
ECSz3030 Z 軸垂直奈米壓電移動平台
ECSz3030 ， 外觀尺寸：30 x 31; 31.5 mm。
ECSz3030 專為垂直運動而設計，在緊湊的體積下可提供高達 4N 的驅動能力。它能提供高解析度的 Z 軸定位，並透過交叉滾柱軸承 (crossed roller bearings) 實現極高的導向精度。
此移動平台專為常溫環境（ /RT ）設計。
型號選擇一覽表
RT 常溫常壓系列（鋁合金結構）
- ECSz3030 / Al / NUM / RT：內建光學尺。
ECS 系列壓電平台工作原理
STEP 1：靜止狀態
- 平台緊密夾持於導桿上。
- 導桿與壓電元件相連。
- 未施加電壓 → 平台處於靜止狀態。
STEP 2：靜摩擦階段，對壓電元件施加鋸齒波電壓 (Sawtooth Voltage)
- 當電壓處於慢速上升緣（Slow Flank）時，平台受摩擦力作用「黏附」在導桿上，並隨之移動一段距離 Δx。
- 該位移距離 Δx 最小可達 50 nm。
STEP 3：電壓快速下降
- 當電壓處於快速下降緣（Steep Flank）時，導桿會產生極快的加速度。
- 平台因慣性克服摩擦力並與驅動元件（導桿）產生相對滑動（脫離同步移動）。
- 單步位移程序完成。
Max Load 0.4kg , Travel range 8mm
ECSz5050 Z 軸垂直奈米壓電移動平台
ECSz5050 ， 外觀尺寸：50 mm x 50 mm ; 32 mm。
ECSz5050 專為垂直運動而設計，在緊湊的體積下可提供高達 8N 的驅動能力。它能提供高解析度的 Z 軸定位，並透過交叉滾柱軸承 ( crossed roller bearings ) 實現極高的導向精度。
此移動平台專為常溫環境（ /RT ）設計。
型號選擇一覽表
RT 常溫常壓系列（鋁合金結構）
- ECSz5050 / Al / NUM / RT：內建光學尺。
ECS 系列壓電平台工作原理
STEP 1：靜止狀態
- 平台緊密夾持於導桿上。
- 導桿與壓電元件相連。
- 未施加電壓 → 平台處於靜止狀態。
STEP 2：靜摩擦階段，對壓電元件施加鋸齒波電壓 ( Sawtooth Voltage )
- 當電壓處於慢速上升緣（ Slow Flank ）時，平台受摩擦力作用「 黏附 」在導桿上，並隨之移動一段距離 Δx 。
- 該位移距離 Δx 最小可達 50 nm。
STEP 3：電壓快速下降
- 當電壓處於快速下降緣（ Steep Flank ）時，導桿會產生極快的加速度。
- 平台因慣性克服摩擦力並與驅動元件（ 導桿 ）產生相對滑動（ 脫離同步移動 ）。
- 單步位移程序完成。
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