壓電柔性線性平移台 Piezo Flexure Linear Stages

奈米聚焦物鏡位移台是高速壓電驅動設備，可在高達250 μm 的長行程範圍內實現快速聚焦和掃描，並可與大多數顯微鏡和物鏡兼容。典型應用包括表面輪廓測量、高分辨率成像、自動聚焦、掃描干涉測量和共聚焦顯微鏡。

NPX壓電疊堆線性位移平台提供一軸、二軸或三軸的長行程和亞奈米分辨率的運動，並將所有功能都集於一個緊湊的設備中。它們具有快速響應和快速穩定的特性，可應用於動態過程，例如高頻誤差補償、追蹤、快速步進，或連續掃描。

壓電堆疊線性平台在一個緊湊的封裝中提供一個、兩個或三個軸的長行程和亞納米分辨率的運動。它們具有快速響應和快速穩定性能，使其可用於動態真空過程，例如高頻誤差補償、跟蹤、快速步進或連續掃描。